Mikrolitografi

Kvicksilverlampor med kort ljusbåge (även kallade HBO) med en effektförbrukning mellan 200 W och 8 000 W används främst som ljuskälla vid tillverkning av mikrochip, LCD-skärmar och kretskort. I ett ständigt pågående samarbete mellan OSRAM – i egenskap av tillverkare av lampor – och tillverkare av apparater eller lokala användare, har en mängd kvicksilverlampor med kort ljusbåge och varianter av dessa utvecklats, vilket ger rätt strålning för nästan alla tillämpningar.

HBO-lampor för UV-exponeringslitografi av integrerade kretsar:

- Använder “i-linjen” av strålningsspektret (365 nm) eller djup UV-strålning (254 nm).

- Lång livslängd och liten försämring

HBO-lampor för UV-exponeringslitografi av platta skärmar och kretskort:

- Starkast strålning i området 350 – 450 nm

- Konstruerade för konstant effekt och/eller konstant intensitet.

HBO-lampor för UV-exponering av förpackningar, minnen och LED-litografi:

- Används till mikrolitografi, avancerade förpackningar och inspektion av wafers

- Från 350 till 2 500 W

Läs mer

Läs mer

Professionella industriella tillämpningar (EN/DE)

Mån. – fre.: 9 - 18

(CET)